MPS微探针台(Micro Probe Station)尺寸小、重量轻，具备变温测试及真空测试功能，适用于科研工作，也适用于与其他仪器联用，是一款非常有特点的微探针系统。
仪器特点：
工作距离短、尺寸小，带有视窗，可以与各种显微镜联用；配备真空腔，有优异的气密性；配备MFC工艺气路，可以通入多种微量气氛；标准同轴或三轴接口，与各种主流电学测试仪表兼容；多种变温手段，高精度温度控制：-40℃ ~ 200℃ (帕尔帖变温)；-40℃ ~ 170℃ (帕尔帖变温)；室温 ~ 450℃ (陶瓷加热)；室温 ~ 750℃ (陶瓷加热)；77K ~ 300K (液氮变温)；
应用领域：
与拉曼光谱联用；电致发光或荧光光谱测试(EL, PL)；气体传感器(气敏测试)；金属-绝缘体相变；光电流扫描；I-V测试；场效应晶体管测试；热传导测试；热磁滞研究；铁电畴转换观测；反射率测试；霍尔效应测试；
